electron-beam lithography
license
98
1667
100
معنی کلمه electron-beam lithography
معنی واژه electron-beam lithography
| اطلاعات بیشتر واژه | |||
|---|---|---|---|
| واژه | electron-beam lithography | ||
| تعداد حروف | 24 | ||
| منبع | دیکشنری انگلیسی به فارسی | ||
| نمایش تصویر | معنی electron-beam lithography | ||
| پخش صوت | |||
[الکترونیک]: لیتوگرافی باریکه - الکترونی نوعی روش لیتوگرافی که طی آن پولک نیم رسانای پوشیده از رزیست در محفظه ی خلأ میکروسکوپ الکترونی قرار می گیرد وسپس باریکه ی الکترونی پویش گر تحت کنترل رایانه به آن تابیده می شود. با این روش می توان خطوط نازک در سطوح بسیار کوچک تولید کرد که در مدارهای مجتمع موردنیاز است . بعد از تابانیدن باریکه ، پولک برای عملیات ظهور وسایر فرایندهای متداول تولید از محفظه ی خلأ خارج می شود.
