نانو _ میکرو الکترونیک روشهای جدیدی برای ساختن نانو ترانزیستورها در مقیاسهای کوچک میپردازد که بعد آنها در حد چند ده نانومتر است.
(نانو الکترونیک مولکولی) را اساس و پایه نانو مدار ها و ساختن نانو تراشه های الکترونیکی و (نانو ترانزیستور ها) می نامند.
مواد تشکیل دهنده بیشتر چیپ ها و نانو چیپ ها سیلیکون میباشد . با اعمال ولتاژ مناسب (ولتاژ آستانه) به محلول سیلیکونی، نیروی دافعه بر کشش سطحی سیلیکون غلبه کرده و جت تشکیل می شود. با تبخیر حلال از جت، تغییر فاز مایع به جامد صورت گرفته و نانو مواد اولیه چیپ ها تشکیل می شود. پارامترهای زیادی بر مشخصه نانو ساختار ها تولید شده با این روش تاثیرگذار است، مهمترین پارمترهای تاثیرگذار عبارتند از فاصله بین سوزن و جمع کننده، ولتاژ اعمالی، نرخ جریان و غلظت محلول سیلیکونی ؛ با تغییر این پارامترها می توان به ابعاد بهینه نانو چیپ ها دست یافت. قطر نانو ساختار ها با نرخ جریان و فاصله رابطه خطی و با پتانسیل و غلظت محلول سیلیکونی در تولید نانو چیپ ها و نانو ترانزیستورها رابطه غیرخطی دارد.
ساخت نانو تراشه‌های الکترونیکی و نانو ترانزیستورها بر پایه فناوری نانوالکترونیک مبتنی بر استفاده از مواد نانوساختار و تکنولوژی‌های ساخت و پردازش نانومتری است. در این فناوری، از موادی مانند کربن، سیلیکون و گالیوم آرسنید به عنوان مواد اصلی برای ساخت تراشه‌های الکترونیکی و ترانزیستورهای نانو استفاده می‌شود.
به طور کلی، فناوری نانوالکترونیک از ترکیب فناوری‌های نانوتکنولوژی و الکترونیک استفاده می‌کند و این به امکان ساخت تراشه‌های الکترونیکی با اندازه‌های خیلی کوچک و قابل توجهی از دقت در ساخت و عملکرد منجر شده است. برای ساخت این تراشه‌ها، از تکنیک‌هایی مانند لیتوگرافی نانومتری و تصویربرداری الکترونی استفاده می‌شود.
